磁気シールについて - 株式会社モアテック

スパッタリングとは放電によって出来たプラズマのなかのイオンを加速して材料にぶつけ、材料から叩き出された原子によって基板に膜を形成する方法です。
真空蒸着よりも緻密で高精度な薄膜を再現性よく形成する事が可能です。

シリコンウェハーの材料となる単結晶インゴットを製造する装置です。

磁気シールは、磁石によって引き寄せられる磁性流体を利用して密封する、回転運動用のシールユニット製品です。

高速回転しながら気体、蒸気、ミストなどを完全に遮断します。

磁性流体とは、液体でありながら鉄のように磁石に引き寄せられる磁気応答性を示す流体です。

磁性流体は1960年代の初め、NASAのアポロ計画の中で、宇宙服の可動部のシール材や無重力環境でのロケットエンジンへのポンプなしで液体燃料を移送する技術等の開発の中で生まれました。