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磁気シールについて

PVD装置

カテゴリ: 応用例 公開日:2017年12月26日(火)

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物理気相成長(Physical Vapor Deposition)は、薄膜の原料として固体減量を用い、それを熱やプラズマのエネルギーで気化し、基板上で薄膜化する方法です。熱エネルギーを用いて蒸着させようとする物質を加熱蒸発させて、非熱平衡的に表面をコーティングする真空蒸着と、分子線エピタキシー、それに蒸発粒子をイオン化するイオンプレーティング法、そしてグロー放電プラズマを用い、セラミック薄膜の堆積もできるスパッタリング法が多く使われています。

このようなPVD装置にもモアテックの磁性流体シールは使われております。

クリーンで長寿命なモアテックの磁性流体シールは、PVD装置でのテーブルやターゲット等の回転機構に最適なものとなっております。

詳しくは弊社営業までお問い合わせ下さい。

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